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聲表面波電子標簽技術(shù)應用領域非常廣泛,包括物流管理、路橋收費、公共交通、門禁控制、防偽、農(nóng)場的健康與安全監(jiān)控識別、超市防資和收費、航空行李分揀、郵包跟蹤、工廠裝配流水線控制和跟蹤、設備和資產(chǎn)管理、體育競賽等。
聲表面波標簽也適用于壓力、應力、扭曲、加速度和溫度等參數(shù)變化的測量,如鐵路紅外軸溫探測系統(tǒng)的熱軸定位、軌道平衡、超偏載檢測系統(tǒng)、汽車輪胎壓力等。
聲表面波技術(shù)的發(fā)展方向如下。
1.加強SAW技術(shù)基礎理論的研究
① 加強壓電材料的研究和開發(fā)。SAW器件要求壓電材料具有很低的延時溫度系數(shù)(最好為零)、高的機電耦合系數(shù)、高的傳播聲速以及極低的雜波激勵效應。今后應積極研究壓電材料及其新切型、各種壓電材料和薄膜構(gòu)成的層狀結(jié)構(gòu),從而找到具有優(yōu)良特性的壓電材料。
②加強SAW激發(fā)和傳播等基礎理論研究。不斷完善現(xiàn)有的各種有關理論及其物理模型,研制高精度和高效率的CAD設計軟件,從而使SAW器件的設計更加精確,為制作出性能更加優(yōu)良的SAW器件打好理論基礎。
2. 降低插入損耗
SAW 濾波器以往存在的最突出問題是插人損耗大,一般不低于15dB。為了滿足通信系統(tǒng)的要求,通過開發(fā)高性能的壓電材料和改進IDT設計,已經(jīng)使器件的插入損耗降低到4dB以下,甚至有些產(chǎn)品降至1dB。不過還是要進一步降低SAW濾波器的插入損耗至1dB以下,并使其功率
承受能力提高到10W。
3.提高SAW器件的頻率
對于SAW器件,當壓電基材選定之后,其工作頻率則由IDT指條寬度決定。IDT指條越窄,頻率則越高。目前0.5um級的半導體已經(jīng)是較為普通的技術(shù),該尺寸IDT指條能制作出1500MHz的SAW 濾波器。利用0.35um級的光刻工藝,能制作出 2GHz的器件。目前,3GHz的SAW器件開始進入實體化。為了進一步提高SAW器件的頻率,可通過以下幾個途徑解決。
1.尋找具有高速傳播的壓電材料,高聲速的聲波模式。
2.尋找新的叉指結(jié)構(gòu)或利用諧波模式。
3.加強工藝設備的改造,改進工藝條件,研容新工業(yè) 加制窗 直接電子束光刻
4.提高SAW器件的程序控制性能
隨著現(xiàn)代計算機技術(shù)的發(fā)展,各種可編程的嵌人式設備 給人們生活帶來了便利。為了5欣W器件更方便地與計算機技術(shù)結(jié)合,設計可編程的 SAW 器件提高器件的程控性,有助子次述地 將SAW器件應用到嵌入式設備中,大大提高SAW器件的應用范圍。和陽極氧化工藝等。
5.改進SAW器件的封裝
全石英封裝(AQP)技術(shù)的引人,大大改善了SAW振蕩器的性能。為了使SAW 器件與其他元件相兼容,并與自動裝配技術(shù)相適應,應當引人表面安裝外殼(SMP)技術(shù)。
6. 微型化、片式化、輕便化
SAW器件微型化、片式化和輕便化,是對通信產(chǎn)品提出的基本要求。SAW器件的 IDT 電極條寬通常是按照SAW 波長的 1/4來進行設計的。對于工作在1GHz的器件,若設SAW 的傳播速度是4000m/s,波長僅為4um(1/4 波長是 1um),在0.4mm 的距離能夠容納100條1um 寬的電極。所以SAW器件芯片可以做得很小,便于實現(xiàn)超小型化。